技術(shù)編號(hào)：5266103
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體，特別涉及一種。背景技術(shù)光學(xué)是微電子機(jī)械系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)技術(shù)應(yīng)用最早且最為活躍的領(lǐng)域之一，典型的應(yīng)用領(lǐng)域包括數(shù)字光投影、全彩色數(shù)字顯示、可調(diào)光源及傳感器、光纖光開關(guān)、自由空間通信等。MEMS技術(shù)應(yīng)用在光學(xué)領(lǐng)域有其特有的優(yōu)勢(shì)。由于光子幾乎沒有質(zhì)量，并且施加在微結(jié)構(gòu)上的カ很小，而硅微加工所形成的器件只和這些光子有相互作用，所以它們?cè)诠鈱W(xué)應(yīng)用上非常合適。而且，光學(xué)MEMS的封裝也相...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。