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柔性基底電磁式能量采集器及其制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:5266197

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本發(fā)明屬于微機電系統(tǒng)領(lǐng)域,涉及一種能量采集器及其制備方法,尤其涉及一種基于柔性基底的微機電系統(tǒng)電磁式能量采集器及其制備方法,可以采集環(huán)境低頻運動能量。背景技術(shù)隨著社會生產(chǎn)需求的不斷增長及微納技術(shù)的快速發(fā)展,大量新型微納器件與系統(tǒng)不斷的開發(fā)出來并被廣泛應(yīng)用,特別是具有生物兼容性的用于防病治病的納米藥物輸運和 定向治療的微納系統(tǒng)。目前這些微納系統(tǒng)主要依靠電池來供電,而電池的壽命一般較短需要不斷地更換。對于體積很小的微納產(chǎn)品,更換電池是個復雜的操作,并可能會對產(chǎn)...
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