技術(shù)編號(hào)：5266339
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及與CMOS工藝兼容的半導(dǎo)體器件及其制造方法。具體地，本發(fā)明涉及可進(jìn)一步處理成為生物傳感器的半導(dǎo)體器件和制造生物傳感器的方法。背景技術(shù)近來已經(jīng)研發(fā)了生物傳感器件，包括基于先進(jìn)CMOS工藝技術(shù)的半導(dǎo)體器件。傳統(tǒng)的生物傳感器件典型地依賴于諸如金或鉬之類的惰性金屬用于生物傳感器的電極，以便提供與通常為腐蝕性或者氧化性的環(huán)境之間的高兼容級(jí)別，可能在這樣的環(huán)境中使用這些生物傳感器，或者半導(dǎo)體器件的下游或者后續(xù)處理要求這樣的環(huán)境；然而近來的趨勢(shì)已經(jīng)轉(zhuǎn)向銅電極，...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。