技術(shù)編號：5266452
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明的實施方式涉及一種微機電系統(tǒng)(MEMS),該微機電系統(tǒng)包括膜(membrane)結(jié)構(gòu)和背板結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的一些實施方式涉及用于制造微機電系統(tǒng)的方法。背景技術(shù)在轉(zhuǎn)換器(transducer)的中微型化是主要研究興趣中之一。與此同時，轉(zhuǎn)換器的典型性能數(shù)字(諸如信噪比或者動態(tài)范圍)應(yīng)該保持在合理水平。已經(jīng)將微機電系統(tǒng)(MEMS)設(shè)定為目標(biāo)用于這些應(yīng)用，因為它們潛在地尺寸很小，在幾十微米的級別上，并且因為它們與半導(dǎo)體類的處理具有兼容性。這導(dǎo)致潛在的高容量制造。...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。