技術(shù)編號：5266717
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。MEMS器件本發(fā)明涉及MEMS器件。當(dāng)前不斷驅(qū)使生產(chǎn)新的越來越小的換能器。 一直瞄準(zhǔn)將微機電系統(tǒng) (MEMS)用于這些應(yīng)用中，這是因為它們潛在地尺寸小一大約十微米到 幾千微米一以及由于它們與半導(dǎo)體等工藝的兼容性。這帶來潛在地大量 的生產(chǎn)。使用這些MEMS制作過程可獲得的器件例如有壓力傳感器、超 聲波換能器和擴(kuò)音器。通常這些器件包括一個或多個薄膜，其中用于讀 取/驅(qū)動的電極沉積在該薄膜和/或襯底上。在MEMS壓力傳感器和擴(kuò)音 器的情況下，通常通過測量電極之間...
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