技術(shù)編號：5266757
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及具有微小可動部的、例如微鏡(micro mirror)元件、加速度傳感器、角 速度傳感器、振動元件等微型可動元件以及微型可動元件陣列。背景技術(shù)近年來，在各種各樣的中，考慮應用通過微細加工技術(shù)形成的具有微小 結(jié)構(gòu)的元件。在這樣的元件中，包含有例如微鏡元件、角速度傳感器、加速度傳感器等具有 微小可動部的微型可動元件。微鏡元件在例如光盤技術(shù)或光通信中作為光反射功 能元件來被使用。角速度傳感器和加速度傳感器用于例如帶有攝影機或相機的便攜式電話 機的防抖功...
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