技術(shù)編號：5266915
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種微結(jié)構(gòu)及其形成方法，尤其涉及一種利用軟性電路板所制造出的微感測器結(jié)構(gòu)或微致動器結(jié)構(gòu)及其制造方法。 背景技術(shù)傳統(tǒng)的微機電系統(tǒng)(MEMS， Micro-Electro-Mechanical System)包含致動器或 感測器結(jié)構(gòu)，其結(jié)構(gòu)基本上都不脫離一利用體型微加工技術(shù)(Bulkmicro-machining)及 面型微力口工技術(shù)(Surface micro-machining)形成的懸浮結(jié)構(gòu)(floating or suspended stru...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。