技術(shù)編號：5266928
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及，特別是關(guān)于一種微機電感測器及其制造方法。背景技術(shù)感測器已經(jīng)被廣泛應(yīng)用在工業(yè)和生活中，例如壓力計、加速度計及陀螺儀等都屬于感測器的一種。就原理分類，感測器可分為電容式、電阻式或是熱感應(yīng)式等很多種。隨著微機電制造技術(shù)的發(fā)展，很多感測器采用微機電制造，大大縮小了體積。但同時，如何對這類微機電感測器進行封裝保護，成為需要解決的問題。如果保護過于脆弱，則難以抵御外界環(huán)境等原因造成的沖擊；如果保護過于厚重，又可能影響感測靈敏度，以及增大體積。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。