技術編號：5267053
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種，更詳細地，涉及 一種具有由包含沿同一方向取向的多個碳納米管的碳納米管聚集體構 成的立體形狀部的。背景技術近年來，具有特別的物理、化學特性的碳納米管(以下也稱為CNT)正被越來越多地用于微型機械(MEMS)用裝置和電子裝置。 例如，已知有一種利用其他工序將由CNT構成的探針的基端附著在 懸臂(cantilever)的錐部，構成原子力顯孩i鏡(AFM， atomic force microscope)的探測器的技術(專利文獻1)。但是，該技術中...
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