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微流體系統(tǒng)中用于在微通道中產(chǎn)生電滲流體運(yùn)動(dòng)的致動(dòng)器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5267126

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本發(fā)明涉及一種微流體系統(tǒng)中用于在微通道中產(chǎn)生電滲液體運(yùn)動(dòng)的致動(dòng)器。背景技術(shù) 目前在研發(fā)用于流體系統(tǒng)(此系統(tǒng)為一種機(jī)電系統(tǒng)MEMS或微系統(tǒng)技術(shù)MST)的電滲的或其它微型泵方面進(jìn)行了許多研究。微流體是一種新興技術(shù),預(yù)計(jì)它會(huì)與一定數(shù)量的技術(shù)領(lǐng)會(huì)有廣泛的涉及。一種微流體裝置通常由通過微通道相互連結(jié)的一定數(shù)量的微傳感器或微分析儀構(gòu)成。該待分析或傳送的流體及試劑最好用微結(jié)構(gòu)泵輸送。雖然在一定時(shí)期內(nèi)別的組成件已經(jīng)有市場(chǎng)供應(yīng),但微致動(dòng)器/-泵的研發(fā)仍處于初級(jí)階段,仍有許多...
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