技術(shù)編號(hào)：5267134
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于射頻通信及微電子機(jī)械(MEMS)技術(shù)，特別是一種涉及五位分布式射 頻微機(jī)電結(jié)構(gòu)移相器，該移相器尤其適合用于射頻/微波等高頻波段。背景技術(shù)移相器是通信系統(tǒng)設(shè)備中的基本部件，微波和毫米波移相器更是組成接收發(fā)機(jī)和 相控陣天線的關(guān)鍵部件。目前，傳統(tǒng)移相器主要采用鐵氧體材料、PIN二極管或FET開關(guān)來 實(shí)現(xiàn)，體積較大、功耗高，難以適應(yīng)現(xiàn)代無線通信系統(tǒng)發(fā)展的要求。近年來，微電子機(jī)械系統(tǒng) (MEMS)技術(shù)的迅猛發(fā)展，促進(jìn)了射頻微機(jī)電(RF MEMS)移相器的發(fā)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。