技術(shù)編號：5267162
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種MEMS(微電子機械系統(tǒng))封裝技術(shù)，尤其涉及一種用于具有光學(xué)窗口的MEMS封裝玻璃微腔的制造方法。背景技術(shù)在MEMS封裝領(lǐng)域，由于器件普遍含有可動部件，在封裝時需要使用微米尺寸的微腔結(jié)構(gòu)對器件進行密閉封裝，讓可動部件擁有活動空間，并且對器件起到物理保護的作用，一些如諧振器、陀螺儀、加速度計等器件，還需要真空、氣密的封裝環(huán)境。用無機材料玻璃制作的腔可以提供較好的真空、密封環(huán)境，陽極鍵合工藝可以提供非常好的氣密性，是最常用的真空密封鍵合工藝。在P...
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