技術編號：5267175
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及，所提供的制作方法可應用于MEMS(Micro Electromechanical System,即微電子機械系統(tǒng))領域。 背景技術近年來，MEMS技術受到廣泛關注和迅猛發(fā)展，該技術通過微型化、集 成化制作出符合各領域要求的微傳感器、微執(zhí)行器、微結構等MEMS器件與 系統(tǒng)，這些器件和系統(tǒng)把自動化、智能化和可靠性水平提高到一個新的水平， 對工農業(yè)、信息、環(huán)境、生物工程、醫(yī)療、空間技術、國防和科學發(fā)展將產 生重大影響。目前MEMS器件一般采用傳統(tǒng)微電...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。