技術(shù)編號：5267178
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及集成電路及其用于制造半導(dǎo)體器件的工藝。具體而言，本發(fā)明提供 一種用于制造半導(dǎo)體集成電路的在電介質(zhì)材料的膜上制造納米尺寸的硅材料的方法。但 是將認(rèn)識到本發(fā)明具有范圍廣泛得多的適用性。也就是說，本發(fā)明可以應(yīng)用于平板顯示 器、普遍稱為MEMS的微機電系統(tǒng)、納米器件等。背景技術(shù)集成電路已經(jīng)從在單個硅芯片上制作的少數(shù)互連器件發(fā)展成數(shù)以百萬計的器 件。常規(guī)集成電路提供遠(yuǎn)超原有想象的性能和復(fù)雜性。為了實現(xiàn)復(fù)雜性和電路密度(即 能夠封裝到給定芯片區(qū)域上的器件的數(shù)...
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