技術(shù)編號(hào)：5267371
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種可用于微通道冷卻系統(tǒng)的硅基微型電滲泵，特別涉及微型電滲 泵的三維陣列。背景技術(shù)微泵是將電能、熱能等轉(zhuǎn)化為流體動(dòng)能的一種新型流體傳輸部件，是微流體系 統(tǒng)中重要的執(zhí)行器件。MEMS技術(shù)的發(fā)展為微泵的研制提供了技術(shù)和工藝基礎(chǔ)。微流體 技術(shù)作為MEMS技術(shù)的一個(gè)分支，具有廣闊的應(yīng)用前景。電滲泵一般由大量的直徑在1 50 μ m之間的細(xì)槽構(gòu)成，槽壁與電解液發(fā)生電 化學(xué)反應(yīng)，在貼近槽壁處形成厚度為1 IOOrnn的穩(wěn)定雙電層緊密層和擴(kuò)散層。在外 電場(chǎng)作用...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。