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用于微機(jī)電系統(tǒng)傳感器的彈性構(gòu)件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5267433

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本發(fā)明總體上涉及微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)傳感器。更具體地說(shuō),本發(fā)明涉及用于MEMS 傳感器的可移動(dòng)元件的懸掛的彈性構(gòu)件。背景技術(shù)許多設(shè)備和系統(tǒng)包括執(zhí)行各種監(jiān)測(cè)和/或控制功能的多個(gè)不同類型的傳感器。顯 微機(jī)械加工和其他微制造工藝的提高已經(jīng)導(dǎo)致各種各樣的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)傳感器的制 造,以執(zhí)行這些監(jiān)測(cè)和/或控制功能。MEMS傳感器可以形成在包括基板(也稱為處理層)、覆蓋基板的諸如氧化物的絕 緣犧牲層以及覆蓋絕緣層的活性層的晶片上。通常,MEMS傳感器典型地包...
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