技術(shù)編號(hào):5267433
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明總體上涉及微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)傳感器。更具體地說(shuō),本發(fā)明涉及用于MEMS 傳感器的可移動(dòng)元件的懸掛的彈性構(gòu)件。背景技術(shù)許多設(shè)備和系統(tǒng)包括執(zhí)行各種監(jiān)測(cè)和/或控制功能的多個(gè)不同類型的傳感器。顯 微機(jī)械加工和其他微制造工藝的提高已經(jīng)導(dǎo)致各種各樣的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)傳感器的制 造,以執(zhí)行這些監(jiān)測(cè)和/或控制功能。MEMS傳感器可以形成在包括基板(也稱為處理層)、覆蓋基板的諸如氧化物的絕 緣犧牲層以及覆蓋絕緣層的活性層的晶片上。通常,MEMS傳感器典型地包...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。