技術(shù)編號：5267596
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于微電子機(jī)械，涉及一種微慣性傳感器，具體涉及一種基于滑膜阻尼的大電容微慣性傳感器及其制作方法。 背景技術(shù)最近十幾年來，用微機(jī)械技術(shù)制作的加速度計得到了迅速的發(fā)展。其主要的加速 度檢測技術(shù)有壓阻檢領(lǐng)U、壓電檢領(lǐng)U、熱檢領(lǐng)U、共振檢領(lǐng)U、電磁檢領(lǐng)U、光檢領(lǐng)U、隧道電流檢測和 電容檢測等。此外，還有一些基于別的檢測技術(shù)的加速度計，如光加速度計、電磁加速度計、 電容加速度計等。光加速度計的發(fā)展主要是為了結(jié)合光和微機(jī)械的優(yōu)點，制作高電磁屏蔽 或者好線性度的傳...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。