技術(shù)編號：5267748
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種微電子機(jī)械系統(tǒng)領(lǐng)域的微閥的制造方法，具體是一種。背景技術(shù) 閥是流動通道內(nèi)起控制性限流作用的重要器件?；谖㈦娮訖C(jī)械系統(tǒng)(MEMS)加工技術(shù)的微閥按原理一般可分為兩種類型主動閥和被動閥兩類。被動閥的工作特點是無需外來的致動力；僅利用流體本身參數(shù)的變化(如流動方向、流動壓力等)即可實現(xiàn)閥狀態(tài)的改變。微閥的體積可大幅度下降至與芯片匹配的程度；相應(yīng)加工和集成化難度亦有所降低。但其功能相對較為簡單，不能實現(xiàn)復(fù)雜的操作，應(yīng)用場合有一定的局限。主動閥的原理...
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