技術(shù)編號：5267820
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬微細(xì)加工，涉及一種圖型化電極誘導(dǎo)和微波固化制作納米結(jié)構(gòu) 的裝置和方法。背景技術(shù)納米結(jié)構(gòu)或者圖形的微細(xì)加工是納電子和納器件制作的基礎(chǔ)，目前納米結(jié)構(gòu)的制 作方法有多種，主要包括極紫外光光刻EUVL、電子束直寫光刻、離子束投影光刻、X射線光 亥IJ、掃描探針顯微加工、分子自組裝、蘸筆光刻、微接觸印刷、納米壓印光刻等。但這些技術(shù) 通常工藝復(fù)雜、效率較低、設(shè)備昂貴。例如電子束直寫光刻雖然具有非常高的精度，但生產(chǎn) 效率非常低。納米壓印光刻N(yùn)IL雖然具有高分辨率...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。