技術(shù)編號：5267927
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及的是一種微機電的裝置，具體是一種基于氧化鋁薄膜與聚合 物聯(lián)合作用的電熱微驅(qū)動器。背景技術(shù)隨著微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的不斷發(fā)展，微結(jié)構(gòu)器件和系統(tǒng)在信息業(yè)，航空航天 業(yè)，醫(yī)療，環(huán)境科學(xué)等很多領(lǐng)域都得到廣泛應(yīng)用。MEMS技術(shù)的核心工作是微傳感器和微驅(qū)動 器的設(shè)計和制造，其中微驅(qū)動器作為可動部分，其動作范圍的大小，可動效率的高低，動作 的可靠性等指標(biāo)決定了系統(tǒng)的成敗，是微機電系統(tǒng)中最重要的環(huán)節(jié)。因此研究發(fā)明小體積， 低重量，低功耗等具有優(yōu)良性能的微驅(qū)...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。