技術(shù)編號：5268034
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及，更確切地說，涉及一種用毛細管法氣密封裝MEMS器件的方法，屬于MEMS器件封裝領(lǐng)域。背景技術(shù) MEMS(microelectromechanical system)是指采用微細加工技術(shù)制作的、集微型傳感器、微型構(gòu)件、微型執(zhí)行器、信號處理、控制電路等于一體的系統(tǒng)。MEMS器件在許多領(lǐng)域都有十分廣闊的應用前景。然而，在MEMS器件中，含有可動部件，這些可動部件很脆弱，極易受到劃片和裝配過程中的灰塵、氣流、濕度、機械等因素的影響，從而造成器件的毀壞或...
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