技術(shù)編號(hào)：5268147
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種。 背景技術(shù)飛行器制導(dǎo)與控制、工業(yè)控制、汽車安全與導(dǎo)航、機(jī)器人、手機(jī)、醫(yī)療儀 器及虛擬游戲機(jī)等領(lǐng)域均需要由微加速度傳感器和微角速率傳感器構(gòu)成的集成 系統(tǒng)來確定載體的速度、加速度、姿態(tài)及角速度等信息。近年來，利用微機(jī)械 加工技術(shù)研制的微加速度傳感器和微角速率傳感器具有體積小、靈敏度高、成本低等優(yōu)點(diǎn)，給系統(tǒng)的設(shè)計(jì)帶來極大的方便，而且需求量也越來越大。目前， 國內(nèi)外許多研究機(jī)構(gòu)紛紛開展了微加速度傳感器和微角速率傳感器的集成化研 究，但是大多數(shù)器件都...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。