技術編號：5268148
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及MEMS器件，具體是一種基于凝膠纖維與微膠囊技術的微致 動開關。背景技術微致動開關(即MEMS開關)是MEMS(microelectro mechanical system微 機電系統(tǒng))技術的具體應用。最早的微致動開關是Petersen于1979年研制的 0.35pm厚、金屬包覆的靜電懸臂梁開關，但由于當時制作工藝的限制，此后 的十年里微致動開關沒有取得太大的進展；直到20世紀90年代，微致動開關 才獲得了巨大發(fā)展。例如1991年，Larson制...
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