技術(shù)編號：5268149
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種NEMS結(jié)構(gòu)的制作方法，尤其是一種基于SOI材料的復(fù)雜 NEMS結(jié)構(gòu)的制作方法。 背景技術(shù)NEMS(nano-electro-mechanical-system,即納米機電系統(tǒng))技術(shù)是90年代 末基于MEMS (micro-electro-mechanical-system,即微米機電系統(tǒng))技術(shù)而提出 的一個新概念，是指系統(tǒng)特征尺寸和效應(yīng)上具有納米技術(shù)特點的一類超小型機 電一體的系統(tǒng)。 一般指特征尺寸在亞納米到數(shù)百納米，以納米級結(jié)構(gòu)所產(chǎn)生的 ...
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