技術(shù)編號(hào)：5268195
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)，尤其涉及一種由單晶硅材料構(gòu)成的微米尺度 網(wǎng)格結(jié)構(gòu)及其制作方法。背景技術(shù)微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)是在集成電路工藝的基礎(chǔ)上發(fā)展起來多學(xué)科交叉的新型 學(xué)科，涉及微電子學(xué)、機(jī)械學(xué)、自動(dòng)控制學(xué)、材料科學(xué)等多種工程技術(shù)和學(xué)科。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，人類對(duì)陣列化感知和陣列化操作的需求日漸高漲。陣列化 傳感器可以使一個(gè)芯片同時(shí)對(duì)多種信息進(jìn)行感知或者對(duì)同一種信息的空間分布情況進(jìn)行 感知。陣列化執(zhí)行器可以同時(shí)并行的進(jìn)行微觀操作，使人類對(duì)微...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。