技術(shù)編號：5268365
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。與本發(fā)明一致的設(shè)備和方法涉及壓電射頻(RF)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)裝置及其制造方法，更具體而言，涉及一種壓電RF MEMS裝置及其制造方法，其中壓電致動器提供有作為低壓的一點(diǎn)接觸的RF輸入信號線，且RFMEMS裝置被制造為一個封裝體。背景技術(shù) 一種RF MEMS裝置在各種領(lǐng)域中，比如在雷達(dá)、移動和通訊產(chǎn)品中，被用作多功能開關(guān)、繼電器、電容器和移相器。RF MEMS裝置的示例包括基于靜電現(xiàn)象的靜電RF MEMS裝置和基于壓電現(xiàn)象的壓電RF MEMS裝置。然而...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。