技術(shù)編號(hào)：5268367
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于，尤其涉及用于在通過(guò)利用單晶半導(dǎo)體襯底制造半導(dǎo)體納米線之后轉(zhuǎn)移另一個(gè)襯底上的納米線并形成電極結(jié)構(gòu)的納米線器件制造方法。背景技術(shù) 納米線器件可用作作為各種電子器件的核心組件的晶體管并可用作各種化學(xué)傳感器及生物傳感器。如果納米線器件與各應(yīng)用匹配地工作，則需要納米線和用于測(cè)量和利用納米線的電特性的電極結(jié)構(gòu)。這種納米線器件的制造方法主要分為兩種類型，一種是通過(guò)利用諸如超細(xì)光刻工藝等常規(guī)半導(dǎo)體工藝蝕刻諸如硅等材料在期望的位置上直接制造納米線器件的“自頂...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。