技術編號：5268369
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種具有可移動區(qū)域的微結構、以及具有該微結構的微機電裝置的制造方法。背景技術 近年來，對稱為MEMS(Micro Electro Mechanical System)的微機械系統(tǒng)的研究已取得了進展。MEMS是微機電系統(tǒng)的縮寫，有時其被簡稱為微機械?，F(xiàn)在，關于微機械沒有明確的定義，但微機械通常指其中通過利用半導體微加工技術集成了“具有三維結構的可移動微結構”以及“具有半導體元件的電子電路”的微型設備。微結構具有三維結構且具有可移動部分，而且提供有用...
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