技術編號：5268672
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明設計一種新型MEMS壓電振動能量收集器的結構及其制備方法，其包括雙拋襯底；雙面襯底保護層；正面金屬導電層(底)作為輸出底電極；金屬上層制備圖形化后的導電膠；PZT壓電片通過導電膠鍵合在硅片底電極；整片覆蓋頂電極金屬導電層(頂)；KOH通過背面襯底保護層窗口腐蝕，釋放出不含Si以環(huán)氧樹脂為主的懸臂梁結構；劃片釋放出懸臂梁-質(zhì)量塊結構。本發(fā)明結構簡單易于實現(xiàn)，便于批量生產(chǎn)，敏感度，輸出電平、功率高，適用范圍廣，安全可靠。專利說明[0001]本發(fā)明涉及一種...
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