技術(shù)編號：5268935
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明提供一種，包括在一玻璃基底表面形成多個金屬導線；在一硅片的第一表面形成一第一掩膜；在第一表面形成第二掩膜；刻蝕所述硅片的第一表面，形成一凹槽；去除所述第二掩膜并繼續(xù)刻蝕所述硅片的第一表面以及凹槽；去除所述第一掩膜，將第一表面鍵合于所述玻璃基底表面；刻蝕所述硅片的第二表面；在所述硅片的第二表面形成一第三掩膜，包括第一長條結(jié)構(gòu)；形成一第四掩膜，所述第四掩膜包括一第二長條結(jié)構(gòu)；刻蝕所述硅片的第二表面，得到第二振梁及并使得第二振梁懸浮于所述玻璃基底表面；繼續(xù)...
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