技術(shù)編號：5268960
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種階梯梁式高Q值抗過載MEMS懸浮電感。電感由階梯梁式懸浮螺旋線圈、電連接立柱和引線組成，通過采用階梯式線圈導(dǎo)線改善了MEMS懸浮電感的抗過載性能。制作工藝為清洗基片；基片背面濺射Cr，涂光刻膠，圖形化后刻蝕制作對準(zhǔn)標(biāo)記；基片正面濺射Cr/Cu種子層；基片正面涂光刻膠，圖形化后電鑄引線；基片正面涂光刻膠，圖形化后電鑄立柱；基片正面涂光刻膠，圖形化后電鑄第一層線圈；基片正面涂光刻膠，圖形化后電鑄第二層線圈；基片正面涂光刻膠，圖形化后電鑄第三層線...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。