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麥克風(fēng)封裝結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5269055

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一種麥克風(fēng)封裝結(jié)構(gòu),每個(gè)麥克風(fēng)封裝結(jié)構(gòu)包括載具及芯片,載具的第一面包括凹槽,載具的第一面并有多個(gè)電性接點(diǎn)藉由多個(gè)金屬柱貫穿到載具的第二面并形成多個(gè)外接點(diǎn),芯片與載具的第一面相對(duì)相接并將凹槽覆蓋,同時(shí)芯片的多個(gè)焊盤電性連接于載具的電性接點(diǎn),芯片上有貫穿芯片的開(kāi)口,開(kāi)口位在凹槽上方,另外,芯片有薄膜位在朝向載具的表面上,薄膜將芯片的開(kāi)口完全覆蓋。專利說(shuō)明麥克風(fēng)封裝結(jié)構(gòu) [0001] 本發(fā)明是關(guān)于一種麥克風(fēng)封裝結(jié)構(gòu),特別是關(guān)于一種微機(jī)電技術(shù)(MEMS)的麥...
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