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Mems器件、接口電路及其制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5269255

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根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例,一種微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件,包括第一板;第二板,布置在所述第一板上方;和第一可移動(dòng)板,布置在所述第一板和所述第二板之間。MEMS器件進(jìn)一步包括第二可移動(dòng)板,布置在所述第一可移動(dòng)板和所述第二板之間。專利說(shuō)明MEMS器件、接口電路及其制作方法[0001]相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用[0002]本申請(qǐng)要求2013年7月18日提交的美國(guó)臨時(shí)申請(qǐng)N0.61/847,874的優(yōu)先權(quán),這里通過(guò)引用將其并入本文。 [0003]本發(fā)明總體涉及微機(jī)電系統(tǒng)(...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
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