技術(shù)編號(hào)：5269508
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。，屬于電子工藝領(lǐng)域。包括如下步驟（1）首先在硅片表面旋涂一層聚酰亞胺，在涂覆之前把電鍍號(hào)傳輸線結(jié)構(gòu)的硅片烘干；接著滴幾滴聚酰亞胺在硅片的中央；在涂完聚酰亞胺，把聚酰亞胺放在密封的盒子里使其自然流平；（2）將步驟（1）所得硅片在80℃的溫度下烘烤30min，然后在110℃的溫度下烘烤1h進(jìn)行預(yù)胺化；（3）預(yù)胺化后，涂覆一層正膠；（4）接著將硅片置于烘箱內(nèi)烘干，溫度為140℃，對(duì)正膠進(jìn)行固化；（5）用NaOH的溶液浸泡，再用去離子水沖凈，置于80℃的烘箱內(nèi)使其...
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