技術(shù)編號(hào)：5269589
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供，具體步驟如下在潔凈的襯底材料表面制備非晶碳層，碳層的厚度為2-6納米；將制備有非晶碳層的襯底放入真空室，抽真空至體系真空度達(dá)到2*10-3Pa以下；開啟電子槍，將電子束匯聚至襯底表面，電子束的束流強(qiáng)度為103-105e*s^(-1)*nm^(-2)，經(jīng)過10-200分鐘的電子束輻照后即在電子束輻照點(diǎn)位置制備得到富勒烯材料?？梢远c(diǎn)在特定位置制備單個(gè)的富勒烯顆粒；可以獲得不同層數(shù)的富勒烯材料；所獲得的富勒烯材料結(jié)構(gòu)狀態(tài)良好。專利說明 [00...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。