技術(shù)編號：5269877
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及機(jī)電類，特別涉及一種應(yīng)用于微納驅(qū)動(dòng)控制、超精密加工、微納加 工、精密光學(xué)以及航空航天等領(lǐng)域的納米級精度的表面熨壓處理與微納結(jié)構(gòu)陣列加工平臺。背景技術(shù)近年來，隨著微電子學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、光學(xué)、數(shù)據(jù)存儲、超精密機(jī)械及其制造等學(xué)科的 迅猛發(fā)展，人們對工件的表面質(zhì)量及其可用性提出了越來越高的要求。傳統(tǒng)的降低工件表 面粗糙度的方法大都采用多次切削、磨床磨削乃至于超精密加工等手段，工藝復(fù)雜不說，還 難以保證工件的表面質(zhì)量，特別是不具備工件表面強(qiáng)化的功能。而如...
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