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一種柔性電熱驅(qū)動微夾鉗的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:5269929

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本發(fā)明為一種柔性電熱驅(qū)動微夾鉗,屬于微機電系統(tǒng)領(lǐng)域中的微執(zhí)行器類。背景技術(shù) 微納米技術(shù)是一個新興的多學(xué)科交叉的高,涉及電子、機械、材料、物理、化學(xué)等學(xué)科,它研究和控制物質(zhì)結(jié)構(gòu)的功能尺寸和分辨能力達到微米至納米量級。其目標就是要實現(xiàn)原子分子層次上的制造技術(shù),形成新的物質(zhì)結(jié)構(gòu)和機器,實現(xiàn)此目的的途徑有兩種一種是bottom-up技術(shù),即通過直接操作單個原子或分子構(gòu)造需要的器件,這樣,一種操作尺度十分細微的微動系統(tǒng)就成為微機械研究的一個重要方向和內(nèi)容。另一途徑則...
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