技術(shù)編號(hào)：5270055
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明專利涉及一種基于MEMS工藝設(shè)計(jì)的新型微型冷卻測(cè)控系統(tǒng)，本發(fā)明也涉及一種微型冷卻測(cè)控系統(tǒng)的加工方法。背景技術(shù)在過去的十余年中，隨著人們對(duì)微流體領(lǐng)域的各個(gè)分立器件(如微流量傳感器、微泵、微閥、微通道等)研究的日趨完善，以及市場(chǎng)對(duì)高精度微流體控制系統(tǒng)的需求日益增加，微流量閉環(huán)控制系統(tǒng)成為MEMS中的研究熱點(diǎn)之一。其工作原理可表述為系統(tǒng)通過其中的傳感器對(duì)流體狀態(tài)進(jìn)行檢測(cè)，再將檢測(cè)信號(hào)進(jìn)行分析處理后，反饋給執(zhí)行器進(jìn)行動(dòng)作，最終精確控制流體的流量。這種閉環(huán)控制...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。