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一種貫孔式振子裝置晶圓級封裝結(jié)構(gòu)的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:5270078

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本發(fā)明涉及振子裝置制造領(lǐng)域,特別是涉及一種貫孔式振子裝置晶圓級封裝結(jié)構(gòu) 的制造方法。背景技術(shù)石英組件具有穩(wěn)定的壓電特性,能夠提供精準(zhǔn)且寬廣的參考頻率、頻率控制、定時 功能與過濾噪聲等功能,此外,石英組件也能做為運動及壓力等傳感器,以及重要的光學(xué)組 件;因此,對于電子產(chǎn)品而言,石英組件扮演著舉足輕重的地位。而針對石英振子晶體的封裝,之前提出了許多種方案,譬如美國專利公告第 5030875號專利「犧牲式石英晶體支撐架」(Sacrificial Quartz-c...
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