技術(shù)編號：5270353
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種電容式微機(jī)械風(fēng)速風(fēng)向傳感器，包括襯底、錨區(qū)、四個彈簧結(jié)構(gòu)，以及四個測風(fēng)電容。錨區(qū)和四個測風(fēng)電容分別設(shè)置在襯底的表面，四個測風(fēng)電容分別為結(jié)構(gòu)相同的上測風(fēng)電容、下測風(fēng)電容、左測風(fēng)電容，以及右測風(fēng)電容，并且四個測風(fēng)電容分別分布在錨區(qū)的上下左右四個方向。其中，四個測風(fēng)電容分別由一組弧形可動電極和弧形固定電極組成，上測風(fēng)電容的弧形可動電極內(nèi)凹面朝右，右測風(fēng)電容的弧形可動電極內(nèi)凹面朝下，下測風(fēng)電容的弧形可動電極內(nèi)凹面朝左，左測風(fēng)電容的弧形可動電極內(nèi)凹面...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。