技術(shù)編號：5270492
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。MEMS器件和制造MEMS器件的方法。公開了一種用于制造MEMS器件的方法。此外，公開了MEMS器件和包括該MEMS器件的模塊。實(shí)施例包括一種用于制造MEMS器件的方法，包括在基板的第一主表面上形成MEMS堆疊、在基板的第二主表面上形成聚合物層并在聚合物層和基板中形成第一開口，使得第一開口鄰接MEMS堆疊。專利說明MEMS器件和制造MEMS器件的方法[0001]本發(fā)明總體上涉及用于制造微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件的系統(tǒng)和方法。背景技術(shù)[0002]在過去幾年中...
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