技術(shù)編號：5270522
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了，將微球水溶液自組裝在覆蓋有絕緣層的基底上，形成致密的單層陣列模板，用等離子刻蝕的方法刻蝕微球的表面，減小微球的間距，然后用物理沉積的方法沉積金屬氧化物薄膜，之后用溶劑超聲處理，去除模板，制備出多孔陣列金屬氧化物薄膜，在空氣氣氛下退火處理即得到金屬氧化物多孔薄膜氣敏材料。本發(fā)明制備出規(guī)整的多孔陣列薄膜氣敏材料，制得的多孔薄膜材料的孔徑大小均一，材料的組合可控，孔徑大小可控。專利說明[0001]本發(fā)明涉及氣體傳感器的氣敏材料領(lǐng)域，具體涉及的是。背...
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