技術(shù)編號(hào)：5270852
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型公開了一種基于多能場(chǎng)耦合的復(fù)合式陽極鍵合系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括工作臺(tái)，工作臺(tái)包括平行設(shè)置的第一電極和第二電極，第一電極和第二電極分別用于放置玻璃器件和硅器件；電源模塊，兩端分別與第一電極和第二電極電性連接；電磁感應(yīng)加熱裝置，設(shè)置于第二電極下方，用于對(duì)放電預(yù)處理和陽極鍵合進(jìn)行電磁強(qiáng)化；驅(qū)動(dòng)裝置，連接在第一電極上，用于驅(qū)動(dòng)第一電極上下運(yùn)動(dòng)。本實(shí)用新型整體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于集成；電磁感應(yīng)加熱、預(yù)處理放電和陽極鍵合三者一體化控制三者一體化控制，調(diào)控簡(jiǎn)單；整套復(fù)合鍵...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。