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一種微電子機(jī)械雙通道微波功率檢測(cè)系統(tǒng)及其制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5270929

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本發(fā)明公開(kāi)了一種基于微電子機(jī)械微波功率傳感器的雙通道微波功率檢測(cè)系統(tǒng)及其制備方法,該系統(tǒng)結(jié)構(gòu)非常簡(jiǎn)單,測(cè)量幅度范圍大、不消耗直流功率;該系統(tǒng)是以砷化鎵為襯底,在襯底上設(shè)計(jì)有共面波導(dǎo)傳輸線(xiàn)(A)、熱電式MEMS微波功率傳感器(B)和MEMS固支梁電容式微波功率傳感器(C)當(dāng)微波信號(hào)功率較小時(shí),由熱電式MEMS微波功率傳感器來(lái)檢測(cè),根據(jù)熱電堆輸出電壓與微波功率是一一對(duì)應(yīng)的關(guān)系;當(dāng)微波信號(hào)功率較大時(shí),由MEMS固支梁電容式微波功率傳感器來(lái)檢測(cè),在共面波導(dǎo)傳輸線(xiàn)上...
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