技術編號：5270938
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明公開了基于MEMS芯片的露點檢測裝置，屬于大氣檢測的。露點檢測裝置包括散熱片，固定在散熱片上的制冷機，貼合在制冷機上表面的鏡面，通過微機械工藝加工在鏡面上方透明板陣列，透明板陣列與鏡面之間的支撐物，所述透明板陣列、支撐物均為高導熱材料，使透明板和鏡面溫度一致，從而透明板在鏡面結(jié)露的同時也結(jié)露；透明板結(jié)露使反射光在光通路上有更多的衰減，有利于反射光信號的變化幅度增加，提高了露點檢測儀的靈敏度和響應速度。專利說明基于MEMS芯片的露點檢測裝置[0001]...
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