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晶片級(jí)自形成納米通道及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5270939

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本發(fā)明涉及。提供了一種制造納米器件的納米通道的機(jī)制。在襯底上沉積絕緣膜。在所述膜上構(gòu)圖納米線。在所述納米線和膜上沉積絕緣材料。在所述絕緣材料中形成第一圓形孔洞作為入口,所述第一圓形孔洞在所述納米線的第一末端上方從而暴露所述第一末端。形成第二圓形孔洞作為出口,所述第二圓形孔洞在所述納米線的與所述第一末端相對(duì)的第二末端上方從而暴露所述第二末端。通過(guò)所述第一和第二孔洞中的蝕刻劑蝕刻掉所述納米線,納米通道連接所述第一和第二孔洞。在所述第一圓形孔洞上附著第一儲(chǔ)存器使...
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