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一種大厚度、高深寬比的全金屬溝道型微結(jié)構(gòu)的加工方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5270950

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本發(fā)明公開(kāi)了,具體的工藝步驟為首先在尺寸已設(shè)定的銅基片上旋涂一層SU-8光刻膠,經(jīng)過(guò)前烘、曝光、后烘、顯影、豎膜等工藝過(guò)程得到微電鑄母模,然后再運(yùn)用微電鑄和去膠工藝得到1/2結(jié)構(gòu),最后利用銷(xiāo)接工藝將兩片1/2結(jié)構(gòu)組合成一個(gè)整體。本發(fā)明使用一次涂膠工藝結(jié)合銷(xiāo)接工藝即可得到大厚度、高深寬比的全金屬溝道型微結(jié)構(gòu),避免了使用多次涂膠工藝獲得大厚度膠膜時(shí)的由曝光帶來(lái)側(cè)壁垂直性問(wèn)題和去膠不完全引起的溝道內(nèi)光刻膠殘留問(wèn)題,突破了采用常規(guī)UV-LIGA技術(shù)和深反應(yīng)離子刻蝕...
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