技術(shù)編號：5271016
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明披露了一種MEMS器件。這種MEMS器件包括一個MEMS襯片。該MEMS襯片包括一個第一半導(dǎo)體層，該第一半導(dǎo)體層由處于中間的一個介電層連接到一個第二半導(dǎo)體層上。由該第二半導(dǎo)體層形成了多種MEMS結(jié)構(gòu)，并且這些結(jié)構(gòu)包括多個第一導(dǎo)電墊片。這種MEMS器件進(jìn)一步包括一個基底襯片，該基底襯片包括在其上的多個第二導(dǎo)電墊片。這些第二導(dǎo)電墊片被連接到第一導(dǎo)電墊片上。最后，這種MEMS器件包括一個導(dǎo)電連接件，這個導(dǎo)電連接件是穿過該MEMS襯片的介電層而形成的以提供在...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。