技術(shù)編號：5271024
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種制造包括至少兩個不同的功能性高度的一體式微機械構(gòu)件（31，41，61，91）的方法。根據(jù)本發(fā)明，所述方法（1）包括在單個高度上的LIGA工藝以及對直接在襯底（2）上的LIGA沉積物進行機加工的工藝。專利說明[0001]本發(fā)明涉及一種制造包括至少兩個不同的功能性高度(functional level)的一體式微機械構(gòu)件的方法。背景技術(shù)[0002]利用連續(xù)的LIGA類型工藝一即，通過包括具有結(jié)構(gòu)的樹脂模具和電鑄沉積在該模具的空腔內(nèi)的金屬的堆疊層—...
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