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一種柔性壁面熱線微傳感器的新型制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5271562

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本發(fā)明涉及,屬于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)領(lǐng)域。背景技術(shù)熱線傳感器是流場(chǎng)信息測(cè)試領(lǐng)域中重要的測(cè)量器件之一。它作為一種高效、可靠的測(cè)量器件,常用于流場(chǎng)流動(dòng)狀態(tài)的檢測(cè)?;贛EMS的壁面熱線微傳感器因具有動(dòng)態(tài)響應(yīng)快、靈敏度高以及信噪比高等優(yōu)點(diǎn),在流體壁面剪應(yīng)力和非定常流測(cè)量中具有廣泛的應(yīng)用前景。而采用聚酰亞胺柔性基底的壁面熱線微傳感器不僅具有常規(guī)壁面熱線微傳感器的全部?jī)?yōu)點(diǎn),而且可以應(yīng)用于機(jī)翼、機(jī)身以及渦輪葉片等各種復(fù)雜型面的測(cè)量,為相關(guān)模型的實(shí)驗(yàn)空氣動(dòng)力學(xué)提供了可...
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